上世紀50年代初，出現了一種具有高速響應的永磁力矩電機。50年代后期，以噴嘴閥為主導的電液伺服閥出現在50年代后期，使電液伺服系統成為當時較快的響應和的控制精度伺服系統。
1958，博湖布恩等人宣布：麻省理工學院的EIR研究工作，為現代電液伺服系統的理論和實踐奠定了基礎。60年代，各種結構的電液伺服閥相繼出現，尤其是電液伺服閥的出現。O型閥采用干轉矩馬達的級間力反饋和以木格為代表的各種電反饋技術的應用，進一步提高了電液伺服閥的性能，電液伺服技術日趨成熟。電液伺服系統已經成為一種軍事技術，它是航空航天自動化控制的重要組成部分，也是民用技術和裝備的一部分。